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一种晶圆输送储存装置及其工作方法
申请人信息
- 申请人:常州岚玥新材料科技有限公司
- 申请人地址:213000 江苏省常州市金坛区金龙大道563号
- 发明人: 常州岚玥新材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆输送储存装置及其工作方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410126820.9 |
| 申请日 | 2024/1/30 |
| 公告号 | CN117672937A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 常州岚玥新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 赵兵; 付善任 |
| 地址 | 江苏省常州市金坛区金龙大道563号 |
摘要文本
本发明涉及晶圆输送技术领域，具体涉及一种晶圆输送储存装置及其工作方法；本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：盒本体、载具、限位件和联动件，每两个所述限位件对称固定在所述盒本体内壁，且两限位件相对设置；一个联动件对应一个限位件，所述联动件滑动设置在所述盒本体内壁；所述载具适于承载晶圆片，所述载具与所述限位件联动；其中，载具插入盒本体内后，载具适于推动限位件的活动端自内向外滑动，至限位件的活动端与联动件抵接；限位件的活动端适于推动载具的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具内部；通过载具和限位件的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具内，避免了运输和夹取过程中晶圆片被损伤。
专利主权项内容
1.一种晶圆输送储存装置，其特征在于，包括：盒本体(1)、载具(2)、限位件(3)和联动件(4)，每两个所述限位件(3)对称固定在所述盒本体(1)内壁，且两限位件(3)相对设置；一个联动件(4)对应一个限位件(3)，所述联动件(4)滑动设置在所述盒本体(1)内壁；所述载具(2)适于承载晶圆片，所述载具(2)与所述限位件(3)联动；其中，载具(2)插入盒本体(1)内后，载具(2)适于推动限位件(3)的活动端自内向外滑动，至限位件(3)的活动端与联动件(4)抵接；限位件(3)的活动端适于推动载具(2)的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具(2)内部。