一种OPA芯片端面超声波抛光系统
申请人信息
- 申请人:扬州群发光芯科技有限公司
- 申请人地址:225000 江苏省扬州市高新技术产业开发区牧羊路21号6幢
- 发明人: 扬州群发光芯科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种OPA芯片端面超声波抛光系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410132515.0 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN117655823A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | B24B1/04 |
| 权利人 | 扬州群发光芯科技有限公司 |
| 发明人 | 王亮; 庄雅婷; 王家俊; 姜大成 |
| 地址 | 江苏省扬州市高新技术产业开发区牧羊路21号6幢 |
摘要文本
本发明公开一种OPA芯片端面超声波抛光系统，涉及芯片加工技术领域；包括底座，底座上设置有超声波抛光箱和清洁箱；在底座上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座上的滑座，滑座上固定连接有安装架，安装架上旋转安装有转盘，转盘上升降滑动设置有定位架，定位架上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架上；通过定位架上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；在底座的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；本发明能在一次加工处理作业中，对晶圆进行全区域抛光处理，省去多次安装操作，提高抛光作业效率。。（） （来 自 ）
专利主权项内容
1.一种OPA芯片端面超声波抛光系统，包括底座(1)，底座(1)上设置有用于抛光处理的超声波抛光箱(5)，以及用于清洁处理的清洁箱(6)；其特征在于：在底座(1)上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座(1)上的滑座(4)，滑座(4)上固定连接有安装架(7)，安装架(7)上旋转安装有转盘(8)，转盘(8)上升降滑动设置有定位架(14)，定位架(14)上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架(14)的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架(14)上；通过定位架(14)上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；点位支撑件包括滑动安装在定位架(14)上的支撑滑座(24)，支撑滑座(24)上固定连接有支撑安装架(26)，支撑安装架(26)上旋转安装有支撑转盘(28)，支撑转盘(28)的端面上固定连接有支撑球杆(29)；支撑转盘(28)在支撑安装架(26)上呈线性排列，且两个支撑转盘(28)之间旋转安装有联动齿轮(27)，联动齿轮(27)分别与相邻的支撑转盘(28)构成齿轮副；在呈圆形排布布置的支撑滑座(24)上旋转安装有控制齿环(19)，控制齿环(19)与支撑转盘(28)构成齿轮副；在定位架(14)的上下端面分别设置有辅助支撑件，辅助支撑件包括滑动安装在定位架(14)上的辅助连接架(17)，辅助连接架(17)的一端设置有辅助支撑球杆(18)，辅助支撑球杆(18)位于支撑转盘(28)、支撑球杆(29)的内侧；在底座(1)的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；转移件包括滑动安装在底座(1)侧面的转移座(39)，转移座(39)上滑动设置有夹持杆(41)，通过夹持杆(41)对工件进行夹持转移。