用于远程等离子发生器的温控方法及系统

专利主权项内容

1.用于远程等离子发生器的温控方法，其特征在于，包括：接收气体流量、气体类型和电场强度执行等离子体生产量预测，生成正离子产生量和负离子产生量；对单位正离子的进行吸收热量频繁性分析，生成单位正离子基准吸收热量，对单位负离子的进行吸收热量频繁性分析，生成单位负离子基准吸收热量；激活电击热量标定表，根据所述电场强度执行电击生产热量预测，生成电击发生腔体预测热量；根据所述单位正离子基准吸收热量、所述单位负离子基准吸收热量，结合所述正离子产生量和所述负离子产生量，对所述电击发生腔体预测热量进行衰减，生成发生腔体理论增加热量；对所述发生腔体理论增加热量进行温度转换，生成发生腔体理论温度；交互热电偶监测发生腔体温度序列，基于所述发生腔体理论温度进行异常温度解析，获得温度异常系数；当温度异常系数不满足预设温控条件，生成温度预警信息，发送至远程等离子发生器管理终端。