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光伏ALD工艺高效上料机及上料方法
申请人信息
- 申请人:无锡江松科技股份有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号
- 发明人: 无锡江松科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光伏ALD工艺高效上料机及上料方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410033611.X |
| 申请日 | 2024/1/10 |
| 公告号 | CN117542778A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 无锡江松科技股份有限公司 |
| 发明人 | 熊波; 惠祥; 王学备 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号 |
摘要文本
本发明公开了光伏ALD工艺高效上料机及上料方法，涉及到光伏ALD技术领域，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构，所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部；本发明采用双插的工艺生产模式时，使两个第一安装座相向运动，使相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，转运机器人将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中，同时对两个晶格进行上料，满足不同加工工艺的上料需求，可以快速对不同规格的晶舟进行上料。 来自
专利主权项内容
1.光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位(1)、硅片转运机构(2)、晶舟放置工位(3)以及晶舟转运机构(4)；所述硅片转运机构(2)包括两个滑动设置的硅片固定组件(21)，每个所述硅片固定组件(21)均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部，其中，当两个硅片固定组件(21)相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合 ；其中，所述硅片转运机构(2)将花篮放置工位(1)处花篮中的硅片转运至晶舟放置工位(3)处的晶舟中，所述晶舟转运机构(4)用于将晶舟放置工位(3)处晶舟转运至待加工工位。 关注微信公众号