一种压力阀及其控制方法、计算机可读存储介质
申请人信息
- 申请人:盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市梁溪区金山四支路11-4
- 发明人: 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种压力阀及其控制方法、计算机可读存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410102835.1 |
| 申请日 | 2024/1/25 |
| 公告号 | CN117627989A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | F15B13/02 |
| 权利人 | 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 |
| 发明人 | 邹中辉; 金帅 |
| 地址 | 江苏省无锡市梁溪区金山四支路11-4 |
摘要文本
本发明涉及压力控制阀技术领域，具体为一种压力阀及其控制方法、计算机可读存储介质，压力阀包括自学习模块、压力PID控制器、位置PID控制器、电机驱动模块、执行器和阀体；位置PID控制器根据阀体开度角的位置误差误重新调节开度角；自学习模块实时采集当前压力、阀体开度角的实际位置，并结合上位机发送的当前上游流量，为压力PID控制器、位置PID控制器计算PID参数。本发明通过自学习模块实时确定压力PID控制器的PD比例系数和位置PID控制器的PI比例系数，压力阀无需进行专门的学习过程即能保持稳定阀体在合适的开度角下作业，提高在生产环节中对产品质量的控制。
专利主权项内容
1.一种压力阀，其特征在于，所述压力阀包括：自学习模块(5)、压力PID控制器(6)、位置PID控制器(7)、电机驱动模块(8)、执行器(9)和阀体(10)；所述自学习模块(5)和所述压力PID控制器(6)用于连接到压力传感器(12)，所述压力传感器(12)用于测量半导体沉积设备工艺腔体内的当前压力；所述自学习模块(5)和所述压力PID控制器(6)还用于连接到上位机(13)，所述上位机(13)根据需要设定的目标压力与当前压力，计算当前工艺腔体(2)内的压力误差；所述压力PID控制器(6)用于根据压力误差，计算当前所述阀体开度角的位置设置；所述执行器(9)连接到所述阀体(10), 所述执行器(9)用于检测所述阀体开度角的实际位置，根据所述阀体开度角的实际位置与位置设置，计算得到开度角的位置误差，并将所述阀体开度角的实际位置反馈给所述位置PID控制器(7)和所述自学习模块(5)；所述电机驱动模块(8)连接到所述执行器(9)，所述位置PID控制器(7)连接到所述自学习模块(5)、所述电机驱动模块(8)，并连接到所述执行器(9)，所述位置PID控制器(7)用于根据所述阀体开度角的位置误差，通过电机驱动模块(8)调节所述执行器(9)内置的电机转速，实现所述阀体开度角的重新调节；所述自学习模块(5)连接到所述压力PID控制器(6)、所述位置PID控制器(7)，并连接到所述执行器(9)，所述自学习模块(5)用于实时采集当前压力、阀体开度角的实际位置，并结合所述上位机(13)发送的当前上游流量，为所述压力PID控制器(6)、位置PID控制器(7)计算PID参数。。更多数据：