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基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统

申请号: CN202410048575.4
申请人: 江苏雷博微电子设备有限公司
更新日期: 2026-03-20

专利详细信息

项目 内容
专利名称 基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统
专利类型 发明申请
申请号 CN202410048575.4
申请日 2024/1/12
公告号 CN117556279A
公开日 2024/2/13
IPC主分类号 G06F18/232
权利人 江苏雷博微电子设备有限公司
发明人 宣海; 魏逸波; 陈酉冰; 施鹤峰
地址 江苏省无锡市江阴市金山路201号创智园数码港A座一楼东南

摘要文本

本发明涉及电性能测试技术领域,具体涉及基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统,本发明首先根据时序电流数据在对应采样周期中的显著程度和对应的采样周期在整体时序电流数据中的显著程度进行分析,得到每个时序电流数据的电流数据显著度;根据每次迭代聚类过程中各个电流数据聚类簇的时序电流数据数量变化情况和聚类中心位置变化情况,以及电流数据显著度的整体偏离情况,得到每个时序电流数据的整体聚类影响程度;根据整体聚类影响程度结合时序电流数据的周期时序信息,得到更加准确的修正聚类中心,使得进一步地根据修正聚类中心进行聚类分析得到的最终电流波动范围对匀胶显影机的运行状态监测效果更好。。

专利主权项内容

1.基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法,其特征在于,所述方法包括:获取匀胶显影机运行时每个采样周期中的时序电流数据;根据不同采样周期之间的时序电流数据变化趋势差异,以及每个采样周期中各个时序电流数据偏差分布情况,得到每个时序电流数据的电流数据显著度;对所有时序电流数据进行迭代自组织聚类,根据每次迭代聚类过程中各个电流数据聚类簇的时序电流数据数量变化情况和聚类中心位置变化情况,以及每个电流数据聚类簇中每个时序电流数据的电流数据显著度的整体偏离情况,得到每个时序电流数据的整体聚类影响程度;根据每个电流数据聚类簇中各个时序电流数据的整体聚类影响程度和周期时序信息,得到每个电流数据聚类簇的修正聚类中心;根据所述修正聚类中心进行聚类分析,得到最终电流波动范围;根据所述最终电流波动范围进行匀胶显影机运行状态监测。