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一种高稳定性晶圆盒搬运机器人
申请人信息
- 申请人:捷螺智能设备(苏州)有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路38号3幢1F西侧A区
- 发明人: 捷螺智能设备(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高稳定性晶圆盒搬运机器人 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410100848.5 |
| 申请日 | 2024/1/25 |
| 公告号 | CN117621004A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | B25J5/00 |
| 权利人 | 捷螺智能设备(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 洪成都; 李辉权 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路38号3幢1F西侧A区 |
摘要文本
本发明公开了一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，涉及晶圆盒搬运技术领域，包括：第一移动设备，具有视觉识别模块和路线规划模块；第二移动设备，具有用于存放晶圆盒的存料槽；以及高稳定性连接机构，其连接于所述第一移动设备与第二移动设备之间，以便使得所述第二移动设备能够跟随所述第一移动设备；所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间的连接方式在刚性连接和柔性连接之间转换；且当所述第一移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持柔性连接；当所述第二移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持刚性连接。
专利主权项内容
1.一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：包括：第一移动设备(1)，其至少具有视觉识别模块和路线规划模块；第二移动设备(2)，其至少具有搬运机械手(3)以及用于存放晶圆盒的存料槽(4)；以及高稳定性连接机构(5)，其连接于所述第一移动设备(1)与第二移动设备(2)之间，以便使得所述第二移动设备(2)能够跟随所述第一移动设备；所述高稳定性连接机构(5)能够使得所述第一移动设备(1)与第二移动设备(2)之间的连接方式在刚性连接和柔性连接之间转换；且当所述第一移动设备(1)发生意外移动时，所述高稳定性连接机构(5)能够使得所述第一移动设备(1)与第二移动设备(2)之间保持柔性连接；当所述第二移动设备(2)发生意外移动时，所述高稳定性连接机构(5)能够使得所述第一移动设备(1)与第二移动设备(2)之间保持刚性连接。