用于晶圆检测的承载设备
申请人信息
- 申请人:苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号
- 发明人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于晶圆检测的承载设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202410048950.5 |
| 申请日 | 2024/1/12 |
| 公告号 | CN117558672B |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
| 发明人 | 孙丰; 蒋立 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路4号 |
摘要文本
本发明公开了一种用于晶圆检测的承载设备，属于半导体检测领域，其包括：旋转机构，包括旋转主体和转盘；夹持机构，包括设置在转盘上的活动夹持件和固定夹持件，活动夹持件和固定夹持件数量有多个，且沿着转盘的周向等间隔交替布置，每一活动夹持件均与一固定夹持件相对设置，活动夹持件可沿着转盘的径向移动，并配合固定夹持件夹持晶圆的边缘；承托机构，包括承托架和与承托架传动连接的承托驱动件；活动夹持件和固定夹持件用于与晶圆相接触的夹持部分位于转盘外，承托架适于在承托驱动件的驱动下沿着转盘的轴线方向上升，并将晶圆抬离活动夹持件和固定夹持件。本发明采用上述结构，能够确保晶圆外缘的检测效果，且便于晶圆定位。
专利主权项内容
1.一种用于晶圆检测的承载设备，其特征在于，包括：旋转机构(100)，包括旋转主体(110)和与所述旋转主体(110)传动连接的转盘(120)；夹持机构(200)，包括设置在所述转盘(120)上的活动夹持件(210)和固定夹持件(220)，所述活动夹持件(210)和所述固定夹持件(220)数量有多个，且沿着所述转盘(120)的周向等间隔交替布置，每一所述活动夹持件(210)均与一所述固定夹持件(220)相对设置，所述活动夹持件(210)可沿着所述转盘(120)的径向移动，并配合所述固定夹持件(220)夹持晶圆的边缘；承托机构(300)，包括位于所述夹持机构(200)下方的承托架(310)和与所述承托架(310)传动连接的承托驱动件(320)；其中，所述活动夹持件(210)和所述固定夹持件(220)用于与晶圆相接触的夹持部分位于所述转盘(120)外，所述承托架(310)适于在所述承托驱动件(320)的驱动下沿着所述转盘(120)的轴线方向上升，并将晶圆抬离所述活动夹持件(210)和所述固定夹持件(220)；所述承托架(310)包括：架体(311)，与所述承托驱动件(320)传动连接；多个承托臂(312)，均与所述架体(311)固定连接；其中，所述承托臂(312)具有与晶圆相接触的支撑部(3121)，所述支撑部(3121)位于一虚拟圆的圆周上，所述虚拟圆与所述夹持机构(200)上的晶圆相同轴，多个所述支撑部(3121)沿着所述虚拟圆的周向等间隔布置；所述旋转机构(100)包括：检测架(130)，包括同轴设置在所述转盘(120)下方的检测环(131)以及固定在所述检测环(131)和所述转盘(120)之间的立柱(132)；位置传感器(140)，固定在所述旋转主体(110)上，且朝向所述检测环(131)；其中，所述检测环(131)沿其周向等间隔设置有多个检测口(1311)，所述检测环(131)适于在所述转盘(120)的带动下驱使所述检测口(1311)与所述位置传感器(140)相对应或不相对应，且当所述检测口(1311)和所述位置传感器(140)不相对应时，所述承托臂(312)与所述活动夹持件(210)和/或所述固定夹持件(220)相交错。