单晶硅放肩调整方法、装置、电子设备及存储介质
申请人信息
- 申请人:苏州晨晖智能设备有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市自由贸易试验区中国(江苏)苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号G3-2401
- 发明人: 苏州晨晖智能设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 单晶硅放肩调整方法、装置、电子设备及存储介质 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202410038806.3 |
| 申请日 | 2024/1/11 |
| 公告号 | CN117552085B |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | G06F30/27 |
| 权利人 | 苏州晨晖智能设备有限公司 |
| 发明人 | 李林东; 魏子涵; 陈伟; 王全志; 毛亮亮; 丁云飞 |
| 地址 | 江苏省苏州市自由贸易试验区中国(江苏)苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号G3-2401 |
摘要文本
本发明的实施例提供了一种单晶硅放肩调整方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：获取单晶硅的棱线宽度数据，将棱线宽度数据输入至训练好的ARIMA模型，确定训练好的ARIMA模型输出的棱线数据的预测结果曲线，基于最小二乘法将预测结果曲线拟合为拟合函数，基于拟合函数，确定单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势，基于单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势对单晶硅的处理工艺进行干预。可以保障在调整准确性的前提下提前获得了角度放肩趋势，从而提前介入干预手段，避免了调节角度放肩手段滞后带来的拉速调整不及时，造成断线、位错增多等问题。
专利主权项内容
1.一种单晶硅放肩调整方法，其特征在于，所述方法包括：获取单晶硅的棱线宽度数据，其中，所述棱线宽度数据包括不同时刻对应的棱线宽度数据；将所述棱线宽度数据输入至训练好的ARIMA模型，确定训练好的所述ARIMA模型输出的棱线数据的预测结果曲线，其中，所述预测结果曲线包括各预测棱线宽度数据；基于最小二乘法将所述预测结果曲线拟合为拟合函数；基于所述拟合函数，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势；基于所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势对单晶硅的处理工艺进行干预；所述基于所述拟合函数，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势的步骤，包括：确定所述拟合函数的一阶导数；在所述拟合函数的一阶导数小于零时，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势为减小趋势；在所述拟合函数的一阶导数大于零时，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势为增大趋势；所述单晶硅处于单晶炉中，单晶炉与加热器连接，所述加热器对所述单晶炉的温度进行调整，所述基于所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势对单晶硅的处理工艺进行干预的步骤，包括：在所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势为减小趋势时，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的第一趋势值；确定所述第一趋势值对应的功率系数；确定所述单晶硅的生产需求；确定所述单晶硅的生产需求对应的预设功率降幅；计算所述功率系数与所述预设功率降幅的乘积；按照所述乘积降低所述加热器的加热功率；所述单晶硅悬挂在转轴上，所述转轴与伺服电机连接，所述伺服电机控制所述转轴的升降；所述基于所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势对单晶硅的处理工艺进行干预的步骤，包括：在所述单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势为增大趋势时，确定所述单晶硅的预测棱线宽度数据的第二趋势值；确定所述第二趋势值对应的速度调整值；按照所述速度调整值对所述伺服电机的转速进行调整；所述方法还包括：对ARIMA模型进行训练，得到训练好的所述ARIMA模型；所述对ARIMA模型进行训练，得到训练好的所述ARIMA模型的步骤，包括：获取待训练的棱线宽度数据，其中，所述待训练的棱线宽度数据包括历史时间的N个时间点的棱线宽度；对所述待训练的棱线宽度数据进行平稳性分析；在所述待训练的棱线宽度数据不平稳时，对所述待训练的棱线宽度数据进行差分处理；基于差分处理后的待训练的棱线宽度数据对ARIMA模型进行训练，得到训练好的ARIMA模型。