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大尺寸多元合金热等静压管状靶材及其制备方法
申请人信息
- 申请人:苏州六九新材料科技有限公司; 涿州安泰六九新材料科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市漕湖街道春兴路45号平谦国际(苏相)产业园二期K栋5楼西侧
- 发明人: 苏州六九新材料科技有限公司; 涿州安泰六九新材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 大尺寸多元合金热等静压管状靶材及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410019644.9 |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN117821912A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | C23C14/34 |
| 权利人 | 苏州六九新材料科技有限公司; 涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 张凤戈; 施政; 魏铁峰; 张欠男; 缪磊 |
| 地址 | 江苏省苏州市漕湖街道春兴路45号平谦国际(苏相)产业园二期K栋5楼西侧; 河北省保定市涿州市开发区火炬南街2号 |
摘要文本
本发明属于冶金技术领域，具体涉及一种大尺寸多元合金热等静压管状靶材及其制备方法。本发明的大尺寸多元合金热等静压管状靶材以及采用本发明的制备方法制备的大尺寸多元合金热等静压管状靶材除了具有普通热等静压管状靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析等特点外，还具有管靶长度为约≥2000mm，长径比为约≥20，抗弯强度为约≥130Mpa，直线度为约≤1mm的特点。本发明的制备大尺寸多元合金热等静压管状靶材的方法解决了在热等静压制备大尺寸管状靶材过程中易出现弯曲而影响后续加工和生产的问题，成品率高，应用范围广。
专利主权项内容
1.一种大尺寸多元合金热等静压管状靶材，其中该大尺寸多元合金热等静压管状靶材的纵向方向的长度为至少2000mm，长径比为≥20，抗弯强度为≥130Mpa，直线度为≤1mm，其特征在于，所述大尺寸多元合金热等静压管状靶材在径向方向上由外向内包含：管状靶材层、第一不锈钢背管和第二不锈钢背管。