镀膜设备及其镀膜方法

专利主权项内容

1.镀膜设备，其特征在于：包括镀膜室和上下料室，所述上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，所述上下料室与所述第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，所述上下料轴的第一端伸入到所述上下料室内且与所述第一进出口位置对应；所述上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，所述直线移动驱动机构位于所述上下料室的外部且可驱动所述上下料轴的第一端伸入到所述镀膜室内；所述上下料轴插接在支撑组件和第一密封组件中，所述支撑组件密封连接所述上下料室，所述第一密封组件密封连接在轴座上且与上下料轴密封连接，所述轴座设置在所述直线移动驱动机构上，所述支撑组件和第一密封组件之间密封设置有围设在上下料轴外周的密封伸缩管。