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一种抗高过载惯性传感器
申请人信息
- 申请人:苏州亿波达微系统技术有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区经济开发区越溪街道吴中大道1421号太湖软件产业园智慧谷园区6号楼17层
- 发明人: 苏州亿波达微系统技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种抗高过载惯性传感器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410073466.8 |
| 申请日 | 2024/1/18 |
| 公告号 | CN117589164A |
| 公开日 | 2024/2/23 |
| IPC主分类号 | G01C21/16 |
| 权利人 | 苏州亿波达微系统技术有限公司 |
| 发明人 | 仇旭萍; 张裕华 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区经济开发区越溪街道吴中大道1421号太湖软件产业园智慧谷园区6号楼17层 |
摘要文本
本发明涉及一种抗高过载惯性传感器，包括：基板；可移动质量块，悬挂于基板；弹性结构，对称设于可移动质量块的两侧，弹性结构的一端与可移动质量块固定连接，弹性结构的另一端与基板固定连接；缓冲结构，对称设置于可移动质量块，缓冲结构远离可移动质量块的一端与基板固定连接，用于使可移动质量块的边缘与基板柔性接触。通过设计柔性结构，并在柔性结构上设计小凸起，该柔性结构既可以单独作为抗高过载的结构也可以作为其它功能性能结构，由于小凸起的尺寸远小于柔性结构尺寸，因此可以在不损失MEMS惯性传感器芯片性能的前提下，提高MEMS惯性传感器芯片的抗高过载的能力，从而提高传感器的可靠性。
专利主权项内容
1.一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，包括：基板(1)；可移动质量块(2)，悬挂于所述基板(1)；弹性结构(3)，对称设于所述可移动质量块(2)的两侧，所述弹性结构(3)的一端与所述可移动质量块(2)固定连接，所述弹性结构(3)的另一端与所述基板(1)固定连接；缓冲结构(4)，对称设置于所述可移动质量块(2)，所述缓冲结构(4)远离所述可移动质量块(2)的一端与所述基板(1)固定连接，用于使所述可移动质量块(2)的边缘与所述基板(1)柔性接触；所述缓冲结构(4)内形成有缓冲空间，所述缓冲结构(4)包括缓冲凸起，所述缓冲凸起与可移动质量块(2)固定连接，且所述缓冲凸起位于所述缓冲空间内，用于抵抗所述可移动质量块(2)过载对所述基板(1)所带来的冲击。