一种几何-晶体各向异性耦合的光电探测器及其制备方法

摘要文本

本发明公开了一种几何?晶体各向异性耦合的光电探测器及其制备方法，涉及半导体光电探测领域，几何?晶体各向异性耦合的光电探测器包括绝缘层；反射层，其设置于所述绝缘层的底部；以及，耦合组件，其设置于所述绝缘层的顶部，所述耦合组件至少设置有两个且所述耦合组件之间具有间隙；所述耦合组件包括由下往上依次堆叠的金属层、二维材料层以及透明电极层，所述二维材料层具有晶体各向异性；所述二维材料层将所述金属层包覆，所述透明电极层将所述二维材料层包覆。本发明将晶体各向异性与器件几何结构各向异性耦合，将二维材料各向异性的晶体结构及其物理性质与各向异性的几何结构相结合，可显著提高偏振光的性能指标与探测能力。