← 返回列表
一种晶圆用车间储存设备
申请人信息
- 申请人:苏州尊恒半导体科技有限公司
- 申请人地址:215312 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房
- 发明人: 苏州尊恒半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆用车间储存设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410207449.9 |
| 申请日 | 2024/2/26 |
| 公告号 | CN117775512A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | B65D81/05 |
| 权利人 | 苏州尊恒半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 肖锦成; 孙彩霞; 赵细海 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房 |
摘要文本
本发明公开了一种晶圆用车间储存设备，包括安装箱与晶圆块，安装箱的内壁设置有放置机构，放置机构包括可移动的放置架，安装箱靠近放置架的内壁上端设置有取拿机构，取拿机构包括上下移动的取料板，放置架的上端设置有放置槽，放置槽中放置有放置箱，放置箱中设置有存储机构，存储机构包括存料箱与可收缩包裹晶圆块的橡胶斗，存料箱靠近橡胶斗的一侧设置有控制橡胶斗收缩的控制机构，本发明使用时，通过使橡胶斗将晶圆块悬空包裹固定，从而使晶圆块放置好后，在运输存放过程中，晶圆块晃动或移动不会与其他杂物接触摩擦导致出现划痕，从而使晶圆块存放更加完好。
专利主权项内容
1.一种晶圆用车间储存设备，包括安装箱(1)与晶圆块(6)，其特征在于，所述安装箱(1)的内壁设置有放置机构，所述放置机构包括可移动的放置架(201)，所述安装箱(1)靠近放置架(201)的内壁上端设置有取拿机构，所述取拿机构包括上下移动的取料板(312)，所述放置架(201)的上端设置有放置槽(202)，所述放置槽(202)中放置有放置箱(207)，所述放置箱(207)中设置有存储机构，所述存储机构包括存料箱(401)与可收缩包裹晶圆块(6)的橡胶斗(404)，所述存料箱(401)靠近橡胶斗(404)的一侧设置有控制橡胶斗(404)收缩的控制机构。