基于伯努利原理的晶圆转运机械臂控制系统及方法

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本发明属于机械臂控制技术领域，本发明公开了基于伯努利原理的晶圆转运机械臂控制系统及方法；包括：采集转运数据，转运数据包括晶圆数据和运行数据；对转运数据进行分析，获取晶圆转运过程中所需的吸附力数据；采集影响数据，影响数据包括气泵数据和环境数据；根据影响数据，计算对应的气泵影响系数和环境影响系数；根据气泵影响系数和环境影响系数，生成对应的安全等级；根据安全等级生成对应的调节指令或检修指令；根据调节指令，计算吸附力调节量，根据吸附力调节量对吸附力进行调节；本发明能够提高转运的稳定性和安全性, 减少晶圆可能出现的掉落或变形, 有效提高生产效率和产品质量。