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超真空环境下晶圆转运机械臂的静电检测系统及方法
申请人信息
- 申请人:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
- 发明人: 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 超真空环境下晶圆转运机械臂的静电检测系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410172792.4 |
| 申请日 | 2024/2/7 |
| 公告号 | CN117723850A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | G01R29/12 |
| 权利人 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 林坚; 王彭; 董渠; 银春 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 |
摘要文本
本发明属于静电检测技术领域，本发明公开了超真空环境下晶圆转运机械臂的静电检测系统及方法；包括：采集晶圆转运阶段中的静电数据；对静电数据进行分析，判断晶圆转运阶段中是否存在静电状态异常；若存在静电状态异常，则生成疑似异常指令；若生成疑似异常指令，则采集疑似异常指令对应时间点的晶圆图像；对晶圆图像进行分析，判断是否生成异常指令；若生成异常指令，则分析存在静电状态异常的原因；根据静电状态异常的原因进行对应的调节；本发明实现了晶圆在各转运阶段的多元定量静电检测，能够准确定位异常原因，自动进行参数优化调节，有针对性的解决静电问题，从而提高晶圆表面质量。
专利主权项内容
1.超真空环境下晶圆转运机械臂的静电检测方法，其特征在于，包括：采集晶圆转运阶段中的静电数据；对静电数据进行分析，判断晶圆转运阶段中是否存在静电状态异常；若存在静电状态异常，则生成疑似异常指令；若生成疑似异常指令，则采集疑似异常指令对应时间点的晶圆图像；对晶圆图像进行分析，判断是否生成异常指令；若生成异常指令，则分析存在静电状态异常的原因；根据静电状态异常的原因进行对应的调节。