一种基于链路逻辑图的晶圆单片运输控制方法及系统

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本发明涉及晶圆运输技术领域，本发明公开了一种基于链路逻辑图的晶圆单片运输控制方法及系统，包括获取待清洗晶圆的目标晶圆标识，基于目标晶圆标识和预构建的晶圆分类模型获得晶圆用途类别，晶圆用途类别包括精细用途和非精细用途，获取待清洗晶圆的工序数量和相应的工位数量，将工序与工位一一对应以形成链路工序逻辑图，本发明中当晶圆用途类别为精细用途时，选择链路工序逻辑图为第一链路工序逻辑图，使得该晶圆在清洗之前进行定位，使得晶圆清洗效果更好满足使用需求，当晶圆用途类别为非精细用途时，选择链路工序逻辑图为第二链路工序逻辑图，这样晶圆在清洗之前不必进行定位，省去了加工步骤并提高了加工的效率。