一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法
申请人信息
- 申请人:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
- 发明人: 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410245917.1 |
| 申请日 | 2024/3/5 |
| 公告号 | CN117832143A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 林坚; 王彭; 吴国明; 王栋梁 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 |
摘要文本
马 克 团 队 本发明涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法，包括基座和固定设置在基座上的晶圆承载台，还包括自动巡边组件；自动巡边组件包括转动连接在基座下表面的立轴，所述立轴上固接第一连接臂，所述第一连接臂远离立轴的一端插接有定位轴，所述定位轴的顶端固接有第二连接臂。本发明基于训练完成的第一机器学习模型和第二机器学习模型可以直接预测出放置在基座上方的晶圆定位巡边时，立轴的转动角度和巡边导向轮的高度数据，控制器根据预测出的立轴的转动角度和巡边导向轮的高度数据控制低速电机和伺服电机工作，然后带动巡边导向轮进行位置和高度调节，自动对基座上方的晶圆进行巡边定位。
专利主权项内容
1.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，包括基座(1)和固定设置在基座(1)上的晶圆承载台(2)，其特征在于：还包括自动巡边组件(3)；自动巡边组件(3)包括转动连接在基座(1)下表面的立轴(31)，所述立轴(31)上固接第一连接臂(32)，所述第一连接臂(32)远离立轴(31)的一端插接有定位轴(34)，所述定位轴(34)的顶端固接有第二连接臂(36)，所述第二连接臂(36)远离定位轴(34)的一端下表面转动连接有巡边导向轮(37)，所述基座(1)下方设置有驱动自动巡边组件(3)转动的驱动组件(6)；所述基座(1)的下方还设置有联动组件(4)，联动组件(4)与自动巡边组件(3)传动连接，当驱动组件(6)驱动第一连接臂(32)和巡边导向轮(37)转动到基座(1)外侧，联动组件(4)同步带动第一连接臂(32)和巡边导向轮(37)下移到基座(1)的下方，当驱动组件(6)驱动第一连接臂(32)和巡边导向轮(37)转动到基座(1)上方时，联动组件(4)同步带动第一连接臂(32)和巡边导向轮(37)上移到基座(1)的上方。