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一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置
申请人信息
- 申请人:江苏弘扬石英制品有限公司
- 申请人地址:222300 江苏省连云港市东海县经济开发区东区淮河路9号
- 发明人: 江苏弘扬石英制品有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410027480.4 |
| 申请日 | 2024/1/9 |
| 公告号 | CN117825755A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | G01Q60/24 |
| 权利人 | 江苏弘扬石英制品有限公司 |
| 发明人 | 徐传龙; 冯维娥; 徐煜清; 徐源 |
| 地址 | 江苏省连云港市东海县经济开发区东区淮河路9号 |
摘要文本
本发明适用于检测设备技术领域，尤其涉及一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置，所述装置包括：底座，底座上安装有原子力显微设备和图像处理设备，包括显微探头和第一图像采集装置，底座上安装有两组支架，支架上安装有第二伸缩缸，所述第二伸缩缸端部安装有两组定位杆；工件控制机构，所述工件控制机构包括第二图像采集装置，工件控制机构用于识别工件的位置，并控制工件进行转动和移动，配合原子力显微设备和图像处理设备完成光洁度检测。本发明能够自动完成对石英圆环片的自动定位，通过控制石英圆环片进行转动移动，使得显微探头和第一图像采集装置能够对石英圆环片进行螺旋式检测，大大提高了采样效果，提高了检测效率。。
专利主权项内容
1.一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置，其特征在于，所述装置包括：底座(1)，所述底座(1)上安装有原子力显微设备(2)和图像处理设备(3)，所述原子力显微设备(2)包括显微探头(4)，所述图像处理设备(3)包括第一图像采集装置(5)，所述底座(1)上安装有两组支架(6)，所述支架(6)上安装有第二伸缩缸(10)，所述第二伸缩缸(10)端部安装有两组定位杆(13)；工件控制机构，所述工件控制机构包括第二图像采集装置(12)，工件控制机构用于识别工件的位置，并控制工件进行转动和移动，配合原子力显微设备(2)和图像处理设备(3)完成光洁度检测。