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电子级三氟化氯纯化方法
申请人信息
- 申请人:浙江陶特半导体材料有限公司
- 申请人地址:314400 浙江省嘉兴市海宁市黄湾镇安江路52号
- 发明人: 浙江陶特半导体材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 电子级三氟化氯纯化方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410112932.9 |
| 申请日 | 2024/1/26 |
| 公告号 | CN117735481A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | C01B7/24 |
| 权利人 | 浙江陶特半导体材料有限公司 |
| 发明人 | 范广鹏; 张晓斌; 李胜帅; 沈钰; 杜路路; 林俊元; 谈益强 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市海宁市黄湾镇安江路52号 |
摘要文本
本申请涉及智能纯化技术领域，其具体地公开了一种电子级三氟化氯纯化方法，其包括，将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯，将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯，以及，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯；其中，在将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯时，通过人工智能技术对吸附剂的饱和状态进行监测，从而及时有效地决定是否需要更换吸附剂，保证电子级三氟化氯的纯化效果。
专利主权项内容
1.一种电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，包括：将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯；将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯；将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯。