一种基于衍射元件的对射光谱共焦测厚系统及方法

专利主权项内容

1.一种基于衍射元件的对射光谱共焦测厚系统，其特征在于，包括第一光谱共焦系统、第二光谱共焦系统和电脑；所述第一光谱共焦系统包括第一光谱共焦探头、第一光线耦合器、第一光源和第一光谱仪，所述第一光源和所述第一光谱仪均与所述第一光线耦合器连接，所述第一光线耦合器还与所述第一光谱共焦探头连接，所述第一光谱仪还与所述电脑连接；其中，所述第一光谱共焦探头内部从入射端到出射端依次固定设置有准直透镜、第一非球面镜和第一衍射元件，所述第一光谱共焦探头外部位于出射端的一面固定设置有三个第一物镜；所述第二光谱共焦系统包括第二光谱共焦探头、第二光线耦合器、第二光源和第二光谱仪，所述第二光源和所述第二光谱仪均与所述第二光线耦合器连接，所述第二光线耦合器还与所述第二光谱共焦探头连接，所述第二光谱仪还与所述电脑连接；其中，所述第二光谱共焦探头内部从入射端到出射端依次固定设置有第二非球面镜、第二衍射元件和折射镜，所述第二光谱共焦探头外部位于出射端的一面固定设置有第二物镜；所述第一光谱共焦探头的出射端和所述第二光谱共焦探头的出射端相对设置。