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硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法
申请人信息
- 申请人:杭州中为光电技术有限公司
- 申请人地址:311103 浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢201室
- 发明人: 杭州中为光电技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410239827.1 |
| 申请日 | 2024/3/4 |
| 公告号 | CN117824889A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | G01L1/24 |
| 权利人 | 杭州中为光电技术有限公司 |
| 发明人 | 朱亮; 谢龙辉; 张遵浩; 曹震; 李宏; 杨波 |
| 地址 | 浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢201室 |
摘要文本
本申请公开了一种硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法，涉及半导体生产技术领域，该检测方法包括：控制内力检测组件从待测硅棒的一端沿硅棒的轴向移动至另一端的过程中，向待测硅棒发射红外偏振光线，并采集内力检测组件生成的灰度值图像；控制旋转组件将待测硅棒旋转预设角度，并重复进行内力检测和图像采集，直至获取待测硅棒在全角度下的多个灰度值图像；计算每个灰度值图像中不同区域的多种灰度参数，并汇总和分析全部灰度值图像的灰度参数计算结果，将待测硅棒划分为与内力相关的多类型区域。该方法能够准确检测出硅棒内部残余内力的分布，有利于节省硅棒资源。
专利主权项内容
1.一种硅棒内力检测系统，其特征在于，包括：机架、内力检测组件、旋转组件和控制模块，其中，所述控制模块分别与所述内力检测组件和所述旋转组件建立通信连接，所述机架用于支撑所述内力检测组件、所述旋转组件和待测硅棒；所述内力检测组件用于向所述待测硅棒发射红外偏振光线，并采集红外偏振光线穿透所述待测硅棒后生成的灰度值图像，所述红外偏振光线是具有预设偏振角度的红外光线；所述旋转组件用于带动所述待测硅棒全方位旋转，以对所述待测硅棒进行全角度的内力检测；所述控制模块用于控制相连设备的运行，并对所述灰度值图像进行分析处理，根据所述灰度值图像的灰度值变化确定所述待测硅棒的内力分布。