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一种纳米压印平压设备
申请人信息
- 申请人:璞璘科技(杭州)有限公司
- 申请人地址:311400 浙江省杭州市富阳区银湖街道中国智谷富春园区12号楼10楼1002室
- 发明人: 璞璘科技(杭州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种纳米压印平压设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410092433.8 |
| 申请日 | 2024/1/23 |
| 公告号 | CN117761967A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/00 |
| 权利人 | 璞璘科技(杭州)有限公司 |
| 发明人 | 邓萌萌 |
| 地址 | 浙江省杭州市富阳区银湖街道中国智谷富春园区12号楼10楼1002室 |
摘要文本
本发明公开了一种纳米压印平压设备,包括基台,所述基台顶部设有压印箱,所述压印箱内移动设有密封组件,所述压印箱底部设有用于驱动所述密封组件移动的驱动组件,所述密封组件顶部设有衬底,所述密封组件顶部移动设有夹具,所述夹具中部设有固化组件,所述夹具底部设有压印组件;通过采用平压工艺,压印胶采用喷墨打印的方式进行涂覆,可以针对其特定的压印位置和压印厚度进行喷墨打印,涂覆厚度介于100nm?500μm之间,需要在特定区域进行喷涂,而非整体旋涂,有助于节省胶材成本。 来自-官网
专利主权项内容
1.一种纳米压印平压设备,包括基台(19),其特征在于:所述基台(19)顶部设有压印箱(20),所述压印箱(20)内移动设有密封组件,所述压印箱(20)底部设有用于驱动所述密封组件移动的驱动组件,所述密封组件顶部设有衬底(16),所述密封组件顶部移动设有夹具(13),所述夹具(13)中部设有固化组件,所述夹具(13)底部设有压印组件。