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一种光刻胶供给系统
申请人信息
- 申请人:江苏卓胜微电子股份有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层
- 发明人: 江苏卓胜微电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光刻胶供给系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323041193.9 |
| 申请日 | 2023/11/9 |
| 公告号 | CN222117826U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B65G1/137 |
| 权利人 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 发明人 | 曹广亚 |
| 地址 | 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层 |
摘要文本
本实用新型涉及半导体制造技术领域。本实用新型提供一种光刻胶供给系统和光刻胶供给方法。光刻胶供给系统，包括：供应装置，适于承载光刻胶瓶；供应装置具有容量检测组件，适于实时检测正在供应光刻胶的光刻胶瓶的剩余容量；供应装置还具有供应信息处理组件，适于向储存装置发送剩余容量信息；储存装置，远离供应装置设置，适于存储封装有不同类型的光刻胶的光刻胶瓶；储存装置具有储存信息处理组件，适于接收供应信息处理组件发送的剩余容量信息，根据剩余容量信息提供剩余容量不足的光刻胶瓶对应的光刻胶类型的光刻胶瓶；运输装置，适于接收储存装置提供的光刻胶瓶，并运输至供应装置。本实用新型可以对容量不足的光刻胶瓶进行及时更换。 关注公众号
专利主权项内容
1.一种光刻胶供给系统，其特征在于，包括：
供应装置，适于承载光刻胶瓶；所述供应装置具有容量检测组件，适于实时检测正在供应光刻胶的所述光刻胶瓶的剩余容量；所述供应装置还具有供应信息处理组件，适于向储存装置发送剩余容量信息；
储存装置，远离所述供应装置设置，适于存储封装有不同类型的光刻胶的光刻胶瓶；所述储存装置具有储存信息处理组件，适于接收所述供应信息处理组件发送的剩余容量信息，根据所述剩余容量信息提供剩余容量不足的光刻胶瓶对应的光刻胶类型的光刻胶瓶；
运输装置，适于接收所述储存装置提供的光刻胶瓶，并运输至所述供应装置。