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一种适用于PEALD腔体维修的装置
申请人信息
- 申请人:南京原磊纳米材料有限公司
- 申请人地址:210000 江苏省南京市江北新区浦云路266号青云大厦B栋22层
- 发明人: 南京原磊纳米材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种适用于PEALD腔体维修的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323660162.1 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222118719U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B66C23/18 |
| 权利人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 发明人 | 郑锦; 曾纪栋 |
| 地址 | 江苏省南京市江北新区浦云路266号青云大厦B栋22层 |
摘要文本
本实用新型涉及设备维修技术领域，具体公开了一种适用于PEALD腔体维修的装置，包括：安装在支撑移动机构上端的吊装摆动机构，吊装摆动机构包括升降安装架、旋转轴、吊臂板主体、挂钩安装件和不锈钢弹簧挂钩，吊臂板主体的下端通过挂钩安装件安装有不锈钢弹簧挂钩；本实用新型设置的自制扳手通过旋转轴带动吊臂板主体旋转，止挡块一和止挡块一控制旋转范围和角度，弹簧插销和定位板配合使用能够用于限位固定旋转轴；旋转轴上增设阻尼器，能够降低因吊臂板主体悬挂工装旋转时重力惯性过大导致旋转过快，进而能够精确控制旋转角度；设置的吊臂板主体具有长度调节功能，挂钩安装件有利于调节不锈钢弹簧挂钩的位置，有利于将悬挂的设备工装平稳吊起。
专利主权项内容
1.一种适用于PEALD腔体维修的装置，其特征在于，包括：安装在支撑移动机构上端的吊装摆动机构，所述吊装摆动机构包括升降安装架(6)、旋转轴(4)、吊臂板主体(1)、挂钩安装件和不锈钢弹簧挂钩(3)，所述支撑移动机构上端设置有所述升降安装架(6)，所述升降安装架(6)的内部转动连接有所述旋转轴(4)，所述旋转轴(4)的上端设置有所述吊臂板主体(1)，所述吊臂板主体(1)的下端通过所述挂钩安装件安装有所述不锈钢弹簧挂钩(3)。