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一种隔热型多晶硅还原装置
申请人信息
- 申请人:内蒙古耀煜新能源科技有限公司
- 申请人地址:010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区机场高速路128号内蒙古低碳经济总部大厦三层3010南写字间
- 发明人: 内蒙古耀煜新能源科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种隔热型多晶硅还原装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420892607.4 |
| 申请日 | 2024/4/27 |
| 公告号 | CN222118878U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C01B33/035 |
| 权利人 | 内蒙古耀煜新能源科技有限公司 |
| 发明人 | 周正平; 边瑞峰; 徐岩文; 田璐 |
| 地址 | 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区机场高速路128号内蒙古低碳经济总部大厦三层3010南写字间 |
摘要文本
本实用新型公开了一种隔热型多晶硅还原装置，包括电加热盘，电加热盘的顶部设置有多个石墨加热棒，电加热盘的顶部还设置有可升降的炉罩，炉罩的内壁设置有隔热罩，电加热盘的内部开设有进气孔，且进气孔的进气端连接有混合气体管道，电加热盘的顶部还插设有插盘，插盘的顶部设置有若干块底板，每个底板的顶部均固定有硅棒，本实用新型通过设置的可拆卸的插盘，插盘顶部固定有硅棒，多晶硅沉积在硅棒表面，将炉罩和隔热罩移除后，插盘可从电加热盘上脱离，从而可以将硅棒与还原装置完全分离开，便于工作人员在后期将多晶硅从硅棒的表面取下。
专利主权项内容
1.一种隔热型多晶硅还原装置，包括电加热盘(17)，其特征在于：所述电加热盘(17)的顶部设置有多个石墨加热棒(18)，所述电加热盘(17)的顶部还设置有可升降的炉罩(12)，所述炉罩(12)的内壁设置有隔热罩(22)，所述电加热盘(17)的内部开设有进气孔(25)，且进气孔(25)的进气端连接有混合气体管道(6)，所述混合气体管道(6)的端部设置有罐体(3)，所述隔热罩(22)的外壁开设有通孔(21)，所述炉罩(12)的外壁设置有排气管(5)，所述排气管(5)上设置有第三气阀(51)，所述排气管(5)的延伸端贯穿炉罩(12)和通孔(21)，并延伸至隔热罩(22)的内部，所述电加热盘(17)的顶部还插设有插盘(20)，所述插盘(20)的顶部设置有若干块底板(23)，每个所述底板(23)的顶部均固定有硅棒(19)。