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一种真空镀膜冷却结构

申请号: CN202420733716.1
申请人: 合肥巨磁电子有限公司
更新日期: 2026-03-24

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种真空镀膜冷却结构
专利类型 实用新型
申请号 CN202420733716.1
申请日 2024/4/10
公告号 CN222119360U
公开日 2024/12/6
IPC主分类号 C23C14/00
权利人 合肥巨磁电子有限公司
发明人 杨林生; 胡志; 王文强
地址 安徽省合肥市肥西县经济开发区新港南区深圳路北侧的8-3号厂房

摘要文本

本申请涉及真空镀膜领域,且公开了一种真空镀膜冷却结构,包括壳体,所述壳体的内壁固定连接有镀膜室,所述镀膜室的三个侧表面固定连接有冷却水管,所述冷却水管的进水端固定连接有进水管,所述进水管的外表面固定连接有阀门,所述进水管的外表面位于所述阀门的下方固定连接有降温管,所述冷却水管的出水端固定连接有流出管,所述流出管的出水端固定连接于冷却室的上表面,所述冷却室的侧表面固定连接有回流管,且所述回流管的出水端固定连接于所述进水管的侧表面;本申请能够实现冷却液的循环使用,避免资源的浪费,且加强了冷却液的降温效果。

专利主权项内容

1.一种真空镀膜冷却结构,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的内壁固定连接有镀膜室(2),所述壳体(1)的两内侧壁均转动连接有若干个风扇(3),所述壳体(1)的上表面贯穿开设有若干个散热口(4),所述镀膜室(2)的三个侧表面固定连接有冷却水管(5),所述冷却水管(5)的进水端固定连接有进水管(6),所述进水管(6)的外表面固定连接有阀门(7),所述进水管(6)的外表面位于所述阀门(7)的下方固定连接有降温管(8),所述冷却水管(5)的出水端固定连接有流出管(9),所述流出管(9)的出水端固定连接于冷却室(10)的上表面,所述冷却室(10)的侧表面固定连接有回流管(11),且所述回流管(11)的出水端固定连接于所述进水管(6)的侧表面。