← 返回列表
一种新型长晶炉加热装置
申请人信息
- 申请人:上海合晶硅材料股份有限公司
- 申请人地址:201617 上海市松江区石湖荡镇长塔路558号
- 发明人: 上海合晶硅材料股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种新型长晶炉加热装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420823797.4 |
| 申请日 | 2024/4/19 |
| 公告号 | CN222119463U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B11/00 |
| 权利人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
| 发明人 | 汪祖一; 尚海波 |
| 地址 | 上海市松江区石湖荡镇长塔路558号 |
摘要文本
本实用新型属于长晶炉技术领域，公开了一种新型长晶炉加热装置，包括炉体，所述炉体内腔底部设置有底盘，所述底盘的上方设置有外坩埚，所述外坩埚内腔设置有内坩埚，所述外坩埚的外侧设置有加热器，所述底盘的上表面开设有多组卡槽，所述外坩埚的下表面设置与多组卡槽契合的卡块；通过对加热器进行调整，将传统加热器的上端厚度A和下端厚度B之比从1 : 1优化为1 : 1.1‑1 : 3.1之间，加热器在整体通电产生热能时，上端横截面积与下端横截面积逐步线型放大，更容易长出无位错合格晶体，位错不良率从10％下降为5％，自然在整体热辐射时产生温度梯度，等晶过程每台炉子消耗功率更低，成晶品质更好，更不容易产生位错。。 （更多数据，详见）
专利主权项内容
1.一种新型长晶炉加热装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内腔底部设置有底盘(16)，所述底盘(16)的上方设置有外坩埚(22)，所述外坩埚(22)内腔设置有内坩埚(21)，所述外坩埚(22)的外侧设置有加热器(25)，所述底盘(16)的上表面开设有多组卡槽(17)，所述外坩埚(22)的下表面设置与多组卡槽(17)契合的卡块(24)；
所述加热器(25)展开时呈蛇形设置，所述加热器(25)的横截面呈直角梯形设置，所述加热器(25)的两端分别设置有正极和负极，所述加热器(25)的截面积小的一端靠近炉体(1)的上端，所述加热器(25)的截面积大的一端设置在底盘(16)上方，所述加热器(25)俯视时呈开口的圆形设置，所述加热器(25)的直角边与外坩埚(22)的外表面呈平行设置，所述加热器(25)的倾斜部靠近炉体(1)的内壁。