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一种用于晶托、树脂板的表面涂胶机构
申请人信息
- 申请人:东莞市鼎力自动化科技有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市石碣镇石碣铭华路48号3栋
- 发明人: 东莞市鼎力自动化科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于晶托、树脂板的表面涂胶机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323305807.X |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN222112339U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B05C5/02 |
| 权利人 | 东莞市鼎力自动化科技有限公司 |
| 发明人 | 赵江风; 姚禄华; 李成; 郑油根; 阮清山 |
| 地址 | 广东省东莞市石碣镇石碣铭华路48号 |
摘要文本
本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种用于晶托、树脂板的表面涂胶机构，包括有支撑台，在支撑台上设有晶托涂胶工位和树脂板涂胶工位，且在晶托涂胶工位上设有用于对晶托进行支撑的第一放置台，在树脂板涂胶工位上设有用于对晶托和树脂板进行支撑的第二放置台；支撑台上设有支撑架，且支撑架上设有一对分别置于第一放置台上方和第二放置台上方的涂胶部件；涂胶部件包括有涂胶机构和用于驱动涂胶机构进行多轴移动的驱动部件。本实用新型在将树脂板放置在晶托上的同时，也可以将待涂胶的晶托放置在第一放置台上，使得可同时对晶托和树脂板进行涂胶处理，大大提高了涂胶的效率。
专利主权项内容
1.一种用于晶托、树脂板的表面涂胶机构，其特征在于：包括有支撑台(1)，在支撑台(1)上设有晶托涂胶工位(2)和树脂板涂胶工位(3)，且在晶托涂胶工位(2)上设有用于对晶托进行支撑的第一放置台(201)，在树脂板涂胶工位(3)上设有用于对晶托和树脂板进行支撑的第二放置台(301)；支撑台(1)上设有支撑架(4)，且支撑架(4)上设有一对分别置于第一放置台(201)上方和第二放置台(301)上方的涂胶部件；涂胶部件包括有涂胶机构(14)和用于驱动涂胶机构(14)进行多轴移动的驱动部件。