← 返回列表
一种基于半导体制造用清洗设备的快速沥液结构
申请人信息
- 申请人:无锡恒大电子科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路599-1号楼1920室
- 发明人: 无锡恒大电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于半导体制造用清洗设备的快速沥液结构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323537725.8 |
| 申请日 | 2023/12/22 |
| 公告号 | CN222112760U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B3/02 |
| 权利人 | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 发明人 | 孙建宇; 薛殿友; 李鹏昊 |
| 地址 | 江苏省无锡市滨湖区建筑西路599-1号楼1920室 |
摘要文本
本实用新型公开了一种基于半导体制造用清洗设备的快速沥液结构，包括壳体、升降载台和清洗结构，壳体内壁右侧的底部固定连接有安装箱，安装箱的左侧与壳体右侧的底部相连通，安装箱内壁后侧的底部开设有移动机构，安装箱的内部设置有快速沥干机构，安装箱顶部的左侧开设有阻挡机构。本实用新型通过设置移动机构，能够便于对清洗后的工件进行移动，能够便于将工件移动到安装箱内通过快速沥干机构将工件快速干燥，同时阻挡机构能够避免在对工件清洗时水迸溅到安装箱内，解决了这种清洗装置在清洗后不便于进行沥干、烘干，导致工件不能进行后续的包装等流程，对工件的生产效率造成影响的问题。
专利主权项内容
1.一种基于半导体制造用清洗设备的快速沥液结构，包括壳体(1)、升降载台(2)和清洗结构(3)，其特征在于：所述升降载台(2)的底部与壳体(1)内壁的底部固定连接，所述清洗结构(3)固定连接在壳体(1)内壁的顶部，所述壳体(1)内壁右侧的底部固定连接有安装箱(4)，所述安装箱(4)的左侧与壳体(1)右侧的底部相连通，所述安装箱(4)内壁后侧的底部开设有移动机构(5)，所述安装箱(4)的内部设置有快速沥干机构(6)，所述安装箱(4)顶部的左侧开设有阻挡机构(7)。