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集成电路喷淋清洁装置
申请人信息
- 申请人:日月新半导体(昆山)有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号
- 发明人: 日月新半导体(昆山)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 集成电路喷淋清洁装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420777534.4 |
| 申请日 | 2024/4/16 |
| 公告号 | CN222112802U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B3/02 |
| 权利人 | 日月新半导体(昆山)有限公司 |
| 发明人 | 黄腾庆 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号 |
摘要文本
本实用新型涉及喷淋清洁技术领域，公开了集成电路喷淋清洁装置，包括清洗槽，所述清洗槽内安装有喷淋装置，所述喷淋装置包括进水管、双通阀、三通阀一、输送管一、水管、锥形柱、输送管二、进水口、固定柱、孔洞、三通阀二，所述进水口固定连接于进水管上。本实用新型中，水洗槽喷淋锥形柱变更锥形喷洒，以及增加锥形柱数量，可大面积喷洒覆盖晶圆表面以提高清洁能力，有效将晶圆表面及其他异物清洗去除，进而提升产品良率。
专利主权项内容
1.集成电路喷淋清洁装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内安装有喷淋装置，所述喷淋装置包括进水管(2)、双通阀(3)、三通阀一(4)、输送管一(5)、水管(6)、锥形柱(7)、输送管二(8)、进水口(9)、固定柱(10)、孔洞(11)、三通阀二(12)，所述进水口(9)固定连接于进水管(2)上。