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一种烘烤排气管清洗装置
申请人信息
- 申请人:上海华力微电子有限公司
- 申请人地址:201314 上海市浦东新区良腾路6号
- 发明人: 上海华力微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种烘烤排气管清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420141150.3 |
| 申请日 | 2024/1/19 |
| 公告号 | CN222112899U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B9/027 |
| 权利人 | 上海华力微电子有限公司 |
| 发明人 | 胡陈越; 吴越豪; 何彦君 |
| 地址 | 上海市浦东新区良腾路6号 |
摘要文本
本实用新型涉及半导体设备烘烤清洗技术领域，具体涉及一种烘烤排气管清洗装置，包括加热组件、总排气管和清洗剂管路；所述加热组件用于对晶圆进行烘烤，所述总排气管用于排出所述加热组件内的空气，所述清洗剂管路与所述总排气管相连通，用于为所述总排气管输送清洗剂，通过以上各部件的配合作用，利用所述清洗剂管路为所述总排气管输送清洗剂以达到自动清洗的目的；综上所述，在本申请提供的一种烘烤排气管清洗装置中，可以实现对所述总排气管进行定期自动清洗。
专利主权项内容
1.一种烘烤排气管清洗装置，其特征在于：包括：加热组件、排气支管、总排气管和清洗剂管路；
所述加热组件包括加热板和烘烤盖，所述加热板上设置有烘烤盖，所述加热板与所述烘烤盖之间合围形成一容置区，所述烘烤盖上开设有与所述容置区连通的排气口；
所述排气支管连通于所述排气口与所述总排气管之间；
所述清洗剂管路与所述总排气管连通。