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一种制备硅靶材的硅片清洗装置
申请人信息
- 申请人:洛阳赛莱克电子有限公司
- 申请人地址:471000 河南省洛阳市西工区红山乡工业园区纬三路8号
- 发明人: 洛阳赛莱克电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种制备硅靶材的硅片清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420204783.4 |
| 申请日 | 2024/1/29 |
| 公告号 | CN222112974U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B11/02 |
| 权利人 | 洛阳赛莱克电子有限公司 |
| 发明人 | 崔彦波; 赵文娜; 尚彩霞 |
| 地址 | 河南省洛阳市西工区红山乡工业园区纬三路8号 |
摘要文本
本申请公开了一种制备硅靶材的硅片清洗装置，包括立柱横撑，所述立柱横撑之间设置有横撑连接架，所述横撑连接架的上端设置有驱动组件，所述驱动组件的输出端设置有硅片放置座，所述硅片放置座包括外置框体、硅片置物架、套接轴和传动组，所述硅片置物架的上下两端设置有套接轴，所述套接轴的两端套设在外置框体，本申请具备高效的清洗性能、灵活的工件定位功能以及对硅片的良好保护作用，实现了硅片清洗过程的安全、高效和环保，立柱横撑和横撑连接架构建了坚固的基础结构，保证了整个装置在工作过程中的稳定性；驱动组件通过传动组带动硅片置物架旋转，确保硅片在清洗过程中能均匀地接触清洗液，提高了清洗效率和质量。
专利主权项内容
1.一种制备硅靶材的硅片清洗装置，包括立柱横撑(1)，所述立柱横撑(1)之间设置有横撑连接架(2)，其特征在于：所述横撑连接架(2)的上端设置有驱动组件(3)，所述驱动组件(3)的输出端设置有硅片放置座(4)，所述硅片放置座(4)包括外置框体(5)、硅片置物架(6)、套接轴(7)和传动组(8)，所述硅片置物架(6)的上下两端设置有套接轴(7)，所述套接轴(7)的两端套设在外置框体(5)，且套接轴(7)的上端连接有传动组(8)，所述立柱横撑(1)的两侧设置有清洗组件(9)，所述清洗组件(9)包括侧边支撑(10)、线性滑轨(11)、动力组件(12)、清洗横撑架(13)，所述侧边支撑(10)上安装有线性滑轨(11)，所述线性滑轨(11)上设置有清洗横撑架(13)，所述动力组件(12)的驱动端部与设置在线性滑轨(11)上的清洗横撑架(13)相连接。