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防护装置以及晶圆盒的承载设备
申请人信息
- 申请人:台积电(中国)有限公司; 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址:201616 上海市松江区文翔路4000号
- 发明人: 台积电(中国)有限公司; 台湾积体电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 防护装置以及晶圆盒的承载设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420333856.X |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN222112997U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B17/00 |
| 权利人 | 台积电(中国)有限公司; 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 吴挺; 周贤辉; 李苏航; 顾卫凤 |
| 地址 | 上海市松江区文翔路4000号; 中国台湾 |
摘要文本
本申请涉及一种防护装置以及晶圆盒的承载设备，防护装置包括基座、防护罩、驱动总成以及动力源。防护罩具有防护腔以及与防护腔连通的开口。驱动总成连接于防护罩与基座之间，驱动总成包括第一驱动件，第一驱动件包括连接部件以及转动部件，连接部件设置有条形引导部，转动部件设置于防护罩，转动部件与连接部件可移动连接并能够沿条形引导部的延伸方向移动。动力源设置于基座并与驱动总成连接设置，以驱动第一驱动件带动防护罩相对基座转动。该防护装置利于实现自动化设计，且利于提高转动效率。
专利主权项内容
1.一种防护装置，其特征在于，包括：
基座；
防护罩，具有防护腔以及与所述防护腔连通的开口；
驱动总成，连接于所述防护罩与所述基座之间，所述驱动总成包括第一驱动件，所述第一驱动件包括连接部件以及转动部件，所述连接部件设置有条形引导部，所述转动部件设置于所述防护罩，所述转动部件与所述连接部件可移动连接并能够沿所述条形引导部的延伸方向移动；
动力源，设置于所述基座并与所述驱动总成连接设置，以驱动所述第一驱动件带动所述防护罩相对所述基座转动。