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一种紫外激光器辅助反馈系统

申请号: CN202420115026.X
申请人: 上海东下田光电科技有限公司
申请日期: 2024/1/17

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种紫外激光器辅助反馈系统
专利类型 实用新型
申请号 CN202420115026.X
申请日 2024/1/17
公告号 CN222113904U
公开日 2024/12/6
IPC主分类号 B23K26/70
权利人 上海东下田光电科技有限公司
发明人 王子异
地址 上海市青浦区双联路158号1幢11层R区1190室

摘要文本

本申请涉及一种紫外激光器辅助反馈系统,涉及激光器的领域,其包括机架,以及:若干反射回馈单元,与机架固定连接,架设在工作平台的上方,且任意反射回馈单元与场镜之间的间距相同,用于检测反射光束强度信号并分别输出光束强度信号;信号处理模块,与若干反射回馈单元的信号输出端信号连接,用于接收若干光束强度信号并比对、并在任意光束强度值小于设定强度值时输出警示信号;报警模块,与机架固定连接,与信号处理模块的信号输出端信号连接,用于接收警示信号并报警。本申请可保障操作人员及时地发现紫外激光光束偏移、便于操作人员及时地对设备进行检修。

专利主权项内容

1.一种紫外激光器辅助反馈系统,其特征在于,包括机架(1),以及:
若干反射回馈单元,与所述机架(1)固定连接,架设在工作平台(2)的上方,且任意所述反射回馈单元与场镜(4)之间的间距相同,用于检测反射光束强度信号并分别输出光束强度信号;
信号处理模块,与若干所述反射回馈单元的信号输出端信号连接,用于接收若干所述光束强度信号并比对、并在任意光束强度值小于设定强度值时输出警示信号;
报警模块,与所述机架(1)固定连接,与所述信号处理模块的信号输出端信号连接,用于接收所述警示信号并报警。