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一种功能性金刚石生产用的抛光装置

申请号: CN202420841487.5
申请人: 高芯(河南)半导体有限公司
申请日期: 2024/4/23

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种功能性金刚石生产用的抛光装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420841487.5
申请日 2024/4/23
公告号 CN222114661U
公开日 2024/12/6
IPC主分类号 B24B29/02
权利人 高芯(河南)半导体有限公司
发明人 吴春平; 邓智华; 卫红
地址 河南省郑州市中原区高新区创新大道36号院高新智慧产业园17号楼5层A0503

摘要文本

本申请涉及抛光设备领域,公开了一种功能性金刚石生产用的抛光装置,包括机台和固定安装在机台顶部的机壳,所述机壳的底部和前侧均为开口构造,机壳的后侧内壁上等间距固定安装有三个第一电机,三个第一电机的输出轴端均可拆卸的固定安装有抛光磨盘,三个抛光磨盘从左向右依次为粗抛光磨盘、细抛光磨盘和精抛光磨盘,机台的顶部设置有位于机壳内的驱动组件,驱动组件上设置有用于夹紧固定功能性金刚石的夹持组件。本申请具有以下优点和效果:能够实现依次对功能性金刚石进行粗磨抛光处理、细磨抛光处理和精磨抛光处理的一体化操作,操作简单方便,省时省力,提高了对功能性金刚石的抛光质量和工作效率。

专利主权项内容

1.一种功能性金刚石生产用的抛光装置,其特征在于,包括机台(1)和固定安装在机台(1)顶部的机壳(2),所述机壳(2)的底部和前侧均为开口构造,所述机壳(2)的后侧内壁上等间距固定安装有三个第一电机(3),三个所述第一电机(3)的输出轴端均可拆卸的固定安装有抛光磨盘(4),三个所述抛光磨盘(4)从左向右依次为粗抛光磨盘、细抛光磨盘和精抛光磨盘,所述机台(1)的顶部设置有位于机壳(2)内的驱动组件,所述驱动组件上设置有用于夹紧固定功能性金刚石的夹持组件,所述驱动组件用于控制夹持组件移动,所述机壳(2)的顶部设置有三个抛光膏添加组件,三个所述抛光膏添加组件分别对应相对应的所述抛光磨盘(4),所述抛光膏添加组件用于向功能性金刚石表面添加抛光膏。 关注公众号