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一种水流量异常报警装置
申请人信息
- 申请人:吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号
- 发明人: 吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种水流量异常报警装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420386933.8 |
| 申请日 | 2024/2/29 |
| 公告号 | CN222114680U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B24B37/005 |
| 权利人 | 吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司 |
| 发明人 | 吴正龙 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号 |
摘要文本
本实用新型实施例公开了一种水流量异常报警装置,涉及监控报警技术领域。其包括流量计、启动单元及提示元件。在研磨垫冲洗装置工作时,启动单元工作并依据流量计所检测到的研磨垫冲洗装置的实时水流量的值来开启或关闭提示元件,从而实现在研磨垫冲洗装置的实时水流量出现异常时可以及时提醒值班人员,以便对研磨垫冲洗装置进行及时处理,降低对晶圆良率的不良影响。
专利主权项内容
1.一种水流量异常报警装置,其特征在于,所述装置包括:
流量计,与待检测设备相连接,用于检测所述待检测设备的实时水流量;
提示元件,用于发出报警提示;
启动单元,其依据所述待检测设备的工作状态信号来开启或关闭自身,其分别与所述流量计、提示元件电连接,并在其开启后依据所述流量计所检测的实时水流量的值来开启或关闭所述提示元件;
所述启动单元包括延时元件,用于在预设时间后开启所述提示元件,所述启动单元还包括电磁继电器,所述延时元件包括延时继电器,所述延时继电器包括第一电源触点、第二电源触点、第一触点及第二触点,所述电磁继电器包括第三电源触点、第四电源触点、第三触点及第四触点;
所述第一电源触点、所述第一触点、所述第三触点及所述流量计均输入预设电压,所述第二电源触点接入所述待检测设备的工作状态信号,所述第二触点与所述第三电源触点电连接,所述第四电源触点接入所述流量计的检测信号,所述第四触点与所述提示元件电连接;
其中,所述第一触点与所述第二触点为常开触点,所述第三触点与所述第四触点为常开触点。