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一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置
申请人信息
- 申请人:江西创科新材料科技有限公司
- 申请人地址:338000 江西省新余市高新开发区赛维大道2988号
- 发明人: 江西创科新材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420014465.1 |
| 申请日 | 2024/1/4 |
| 公告号 | CN222114731U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B24B57/02 |
| 权利人 | 江西创科新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 何敏; 王梦娜; 钟文斌; 谌栋梁; 黄会建; 蔡斌斌; 黄丽勇 |
| 地址 | 江西省新余市高新开发区赛维大道2988号 |
摘要文本
本实用新型公开了一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置，属于研磨辅助装置技术领域，包括载盘，所述载盘的下端固定安装有研磨盘，所述载盘的上端成型有凹槽，所述凹槽内两端均固定安装有左载筒和所述右载筒，所述左载筒和所述右载筒呈对称分布，所述左载筒和所述右载筒内均固定安装有泵机。有益效果在于：本实用新型通过载盘、研磨盘、驱动杆、左载筒、右载筒、泵机、输送管、延展管、喷洒座、喷嘴、滑块以及电动滑轨的设计，能够使氮化铝基板在研磨作业中，在研磨盘上搭配有电控的研磨液注入机构，可以替代工作人员在研磨作业中注入研磨液，从而提高研磨作业的工作效率，同时可以完善机械的自动化作业。
专利主权项内容
1.一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置，其特征在于：包括载盘(1)，载盘(1)的下端固定安装有研磨盘(2)，载盘(1)的上端成型有凹槽(3)，凹槽(3)内两端均固定安装有左载筒(5)和右载筒(6)，左载筒(5)和右载筒(6)呈对称分布，左载筒(5)和右载筒(6)内均固定安装有泵机(8)，泵机(8)的上端均插接有输送管(9)，输送管(9)的一端均连接有延展管(10)，延展管(10)的下端均插接有喷洒座(11)，喷洒座(11)的一侧壁上焊接有滑块(14)，载盘(1)与滑块(14)的连接处通过卡槽安装有电动滑轨(15)。