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一种光刻版保护膜贴膜治具
申请人信息
- 申请人:江苏芯德半导体科技股份有限公司
- 申请人地址:210000 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区林春路8号
- 发明人: 江苏芯德半导体科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光刻版保护膜贴膜治具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420754611.4 |
| 申请日 | 2024/4/12 |
| 公告号 | CN222116055U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B29C63/02 |
| 权利人 | 江苏芯德半导体科技股份有限公司 |
| 发明人 | 蒋志强; 张文龙 |
| 地址 | 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区林春路8号 |
摘要文本
本发明的一种光刻版保护膜贴膜治具，包括底托和盖板；底托的顶面设有保护膜槽，环保护膜槽，底托的顶面设有若干用于限位光刻版的限位柱和若干弹簧柱，弹簧柱用于顶撑光刻版；盖板的底面设有若干对应弹簧柱的受力柱。通过保护膜槽限定待贴的保护膜，通过限位柱定位待贴膜的光刻版，利用弹簧柱弹性的压合光刻版，使光刻版与保护膜有效贴合并便于光刻板的取出。其提高了光刻版的贴膜效率和准确率，提高光刻版的使用率，解决产线因光刻版外送贴膜造成的产能和时间损失，满足产线产能要求，具有很强的实用性和广泛地适用性。
专利主权项内容
1.一种光刻版保护膜贴膜治具，其特征在于，包括底托和盖板；
所述底托的顶面设有保护膜槽，
环保护膜槽，底托的顶面设有若干用于限位光刻版的限位柱；
环保护膜槽，底托的顶面设有若干弹簧柱，所述弹簧柱用于顶撑光刻版；
所述盖板的底面设有若干对应弹簧柱的受力柱。