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等离子蚀刻电极加工设备
申请人信息
- 申请人:安徽四象半导体材料科技有限公司
- 申请人地址:231200 安徽省合肥市经济技术开发区卫星路与青龙潭路交叉口新港集成电路科技园B栋1层
- 发明人: 安徽四象半导体材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 等离子蚀刻电极加工设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323479789.7 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN222106589U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01J9/14 |
| 权利人 | 安徽四象半导体材料科技有限公司 |
| 发明人 | 许赞; 朴永哲 |
| 地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区卫星路与青龙潭路交叉口新港集成电路科技园B栋1层 |
摘要文本
本实用新型提供一种等离子蚀刻电极加工设备，包括主轴、工作台、脉冲源，工作台用于定位待成型棒状电极的主轴；主轴上至少设置一个用于电火花钻孔的棒状电极；脉冲源用于在蚀刻电极与棒状电极之间施加电脉冲；工作时，棒状电极端部接近蚀刻电极，棒状电极端部与蚀刻电极间通过放电实现蚀刻电极的表面剥蚀。该等离子蚀刻电极加工设备通过主轴上设置的棒状电极实现了对蚀刻电极上的气孔的电火花剥蚀加工，相比较现有的机械钻孔加工技术可以实现对较深的气孔的单面一次装夹加工，且其单位时间的进给深度更高，因此具有更高的加工效率，且工艺流程更加简单，易于操作。
专利主权项内容
1.一种等离子蚀刻电极加工设备，其特征在于，包括
工作台(2)，工作台(2)用于定位待成型的蚀刻电极(W)；
主轴(1)，主轴(1)在工作台(2)的工作面外移动设置，主轴(1)上至少设置一个用于电火花钻孔的棒状电极(11)；
脉冲源(3)，脉冲源(3)用于在蚀刻电极(W)与棒状电极(11)之间施加电脉冲；工作时，棒状电极(11)端部接近蚀刻电极(W)，在电脉冲作用下，棒状电极(11)端部与蚀刻电极(W)间通过放电实现蚀刻电极(W)的表面剥蚀。