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支路进气结构及等离子体刻蚀设备
申请人信息
- 申请人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
- 申请人地址:266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
- 发明人: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 支路进气结构及等离子体刻蚀设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420132117.4 |
| 申请日 | 2024/1/18 |
| 公告号 | CN222106593U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
| 发明人 | 汪勋 |
| 地址 | 山东省青岛市黄岛区红石崖街道山王河路1088号 |
摘要文本
本实用新型提供支路进气结构及等离子体刻蚀设备，环形匀气管的b个喷气孔与喷气结构可拆卸连接，其他喷气孔与堵头结构可拆卸连接，喷气结构由第一连接管道和喷气面组成，环形匀气管内的流体可从喷气面喷出；堵头结构由第二连接管道和堵头面组成，环形匀气管内的流体无法从堵头面喷出。本实用新型通过在环形匀气管设置堵头结构和喷气结构，低成本提高晶圆边缘的等离子体刻蚀均匀性；同时通过可拆卸的堵头结构和喷气结构，低成本实现对不同晶圆边缘均匀性的灵活适应；另外，通过设置喷气结构的角度和通气小孔的分布形状，进一步提高对晶圆边缘等离子体刻蚀均匀性；最后通过堵头结构和喷气结构中心对称分布，提高晶圆边缘均匀性的稳定性。
专利主权项内容
1.一种支路进气结构，其特征在于，所述支路进气结构包括：环形匀气管、堵头结构和喷气结构；
所述环形匀气管设置有a个喷气孔，每个所述喷气孔的尺寸完全相同，所述堵头结构和喷气结构均可与任一所述喷气孔可拆卸连接；其中b个所述喷气孔与喷气结构可拆卸连接，不与所述喷气结构连接的所述喷气孔与所述堵头结构可拆卸连接，a大于等于2，b小于或等于a，a、b均为正整数；
所述喷气结构由第一连接管道和喷气面组成，所述第一连接管道的一端和所述喷气孔可拆卸连接，所述第一连接管道的另一端和所述喷气面固定连接，所述环形匀气管内的流体可从所述喷气面喷出；
所述堵头结构由第二连接管道和堵头面组成，所述第二连接管道的一端和所述喷气孔可拆卸连接，所述第二连接管道的另一端和所述堵头面固定连接，所述堵头面为封闭面，所述环形匀气管内的流体无法从所述堵头面喷出。