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一种石英舟
申请人信息
- 申请人:江苏微导纳米科技股份有限公司
- 申请人地址:214111 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
- 发明人: 江苏微导纳米科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石英舟 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420084763.8 |
| 申请日 | 2024/1/12 |
| 公告号 | CN222106632U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 发明人 | 陈云; 廖宝臣; 张敏; 种世平; 曹炜博; 陈程 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区长江南路27号 |
摘要文本
本实用新型涉及一种石英舟，包括骨架组件以及端板，骨架组件沿第一方向延伸，两个端板沿第一方向相对地连接于骨架组件的两端，至少一个端板设置第一流通通道，第一流通通道沿第一方向贯穿端板，第一流通通道内设置导气结构，导气结构将第一流通通道分隔为多个流通孔。上述端板不仅保证了石英舟内硅片表面工艺气体流动的均匀性，从而有助于提高扩散工序中硅片的方阻均匀性，同时加强结构提高了端板的强度，减少开设第一流通通道对端板的强度的影响，进而保证石英舟整体的强度，避免在石英舟取出或放入高温扩散炉的过程中受力变形。。
专利主权项内容
1.一种石英舟，包括骨架组件以及端板，所述骨架组件沿第一方向延伸，两个所述端板沿所述第一方向相对地连接于所述骨架组件的两端，其特征在于，至少一个所述端板设置第一流通通道，所述第一流通通道沿所述第一方向贯穿所述端板，所述第一流通通道内设置导气结构，所述导气结构将所述第一流通通道分隔为多个流通孔。