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下料设备及制绒系统
申请人信息
- 申请人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
- 申请人地址:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号
- 发明人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 下料设备及制绒系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202322931769.2 |
| 申请日 | 2023/10/31 |
| 公告号 | CN222106640U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 汪滢; 董雪迪; 林佳继 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号 |
摘要文本
本实用新型属于硅片制绒工艺技术领域，公开了一种下料设备及制绒系统。下料设备用于将制绒主机生产的加工件由第一承载件转移至第二承载件。下料设备包括对接位、第一放置位、第二放置位、移位机构和加工件移动机构。对接位用于对接制绒主机的出料端；第一放置位用于放置第一承载件；第二放置位用于放置第二承载件；移位机构用于通过对接位将制绒主机的出料端输出的第一承载件转移至第一放置位；加工件移动机构用于将位于第一放置位的第一承载件的加工件移出第一承载件，并转移至位于第二放置位的第二承载件。该下料设备能实现制绒主机的自动下料，且能在制绒主机后将硅片从花篮中导入到石英舟中，以便直接使用石英舟转运硅片到其他工艺主机中。
专利主权项内容
1.下料设备，其特征在于，所述下料设备用于将制绒主机(10)生产的加工件由第一承载件转移至第二承载件，所述下料设备包括：
对接位(100)，所述对接位(100)用于对接所述制绒主机(10)的出料端；
第一放置位(200)，用于放置所述第一承载件，所述第一承载件用于承载所述加工件；
第二放置位(300)，用于放置所述第二承载件，所述第二承载件用于承载所述加工件；
移位机构(400)，用于通过所述对接位(100)将所述制绒主机(10)的出料端输出的所述第一承载件转移至所述第一放置位(200)；
加工件移动机构(600)，用于将位于所述第一放置位(200)的所述第一承载件内的加工件移出所述第一承载件，并将移出后的所述加工件转移至位于所述第二放置位(300)的所述第二承载件内。