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一种硅片纠偏装置及硅片输送设备
申请人信息
- 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
- 发明人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片纠偏装置及硅片输送设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420703029.5 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222106652U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 发明人 | 伍波; 聂新宇; 胡艳东; 周宏业; 彭家乐 |
| 地址 | 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层 |
摘要文本
本实用新型公开了一种硅片纠偏装置及应用其的硅片输送设备，硅片纠偏装置包括固定基座、转动轴、转动轴驱动机构和至少一组纠偏组件，转动轴活动安装于固定基座；转动轴驱动机构与转动轴传动连接；每组纠偏组件与转动轴之间设置有导向机构，导向机构包括开设于转动轴外周壁的导向槽及与纠偏组件相连接的导向块，导向块至少部分嵌入导向槽内；转动轴驱动机构驱动转动轴转动时，导向槽能够与导向块相互配合驱动所述移动座带动纠偏组件沿着转动轴的轴向往复移动。通过采用该结构，不但实现了对硅片的纠偏，而且硅片纠偏装置的结构简单、便于制作，有助于降低生产成本。
专利主权项内容
1.一种硅片纠偏装置，其特征在于，包括：
固定基座，
转动轴，所述转动轴活动安装于所述固定基座；
转动轴驱动机构，所述转动轴驱动机构与所述转动轴传动连接，所述转动轴驱动机构能够驱动所述转动轴相对所述固定基座转动；
至少一组纠偏组件，每组所述纠偏组件包括移动座、第一拨动件和第二拨动件，所述第一拨动件和所述第二拨动件沿着所述转动轴的轴向方向间隔地设置于所述移动座；
其中，每组所述纠偏组件与所述转动轴之间设置有导向机构，所述导向机构包括导向槽和导向块，所述导向槽开设于所述转动轴的外周壁，所述导向块与所述移动座相连接，所述导向块至少部分嵌入所述导向槽内；
所述转动轴驱动机构驱动所述转动轴转动时，所述导向槽能够与所述导向块相互配合驱动所述移动座带动所述第一拨动件、所述第二拨动件沿着所述转动轴的轴向往复移动。