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硅片载具定位装置以及加工设备
申请人信息
- 申请人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
- 申请人地址:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号
- 发明人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 硅片载具定位装置以及加工设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202322969256.0 |
| 申请日 | 2023/11/3 |
| 公告号 | CN222106655U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 周欢; 于涛; 董雪迪; 张武 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号 |
摘要文本
本实用新型属于光伏生产设备技术领域，公开了一种硅片载具定位装置以及加工设备。硅片载具定位装置包括底座、隔离组件、两个承托组件、第一限位组件以及第二限位组件, 隔离组件与底座滑动配合；两个承托组件均安装于隔离组件的上方，并分别用于承托硅片载具的两端；第一限位组件安装于底座，并位于隔离组件的一侧；第二限位组件安装于底座，并位于隔离组件的另一侧，第二限位组件用于推动隔离组件向第一限位组件运动，以使第一限位组件和第二限位组件分别抵接于硅片载具的两端。该硅片载具定位装置以及加工设备能够防止硅片载具磨损，延长硅片载具的使用寿命。
专利主权项内容
1.硅片载具定位装置，其特征在于，包括：
底座(10)；
隔离组件(20)，所述隔离组件(20)与所述底座(10)滑动配合；
两个承托组件(30)，均安装于所述隔离组件(20)背离所述底座(10)的一侧，并分别用于承托硅片载具(200)的两端；
第一限位组件(40)，安装于所述底座(10)，并位于所述隔离组件(20)的一端；
第二限位组件(50)，安装于所述底座(10)，并位于所述隔离组件(20)的另一端，所述第二限位组件(50)用于推动所述隔离组件(20)向所述第一限位组件(40)的方向运动，以使所述第一限位组件(40)和所述第二限位组件(50)分别抵接于所述硅片载具(200)的两端。