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一种半导体腐蚀机用定位装置
申请人信息
- 申请人:倍特微半导体科技(江苏)有限公司
- 申请人地址:214142 江苏省无锡市新吴区新锦路18号2幢1楼
- 发明人: 倍特微半导体科技(江苏)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体腐蚀机用定位装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323363426.7 |
| 申请日 | 2023/12/11 |
| 公告号 | CN222106656U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 倍特微半导体科技(江苏)有限公司 |
| 发明人 | 魏刚; 杨志华 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区新锦路18号2幢1楼 |
摘要文本
本实用新型公开了一种半导体腐蚀机用定位装置，具体涉及腐蚀机配件技术领域，包括下垫板，所述液压缸活塞杆输出端固定连接有定位机构，所述支撑板一外表面下端左部和右部对称固定连接有导向机构，所述固定仓内腔底壁前部和后部对称固定连接有缓冲机构，两个所述缓冲机构上部共同固定连接有支撑机构，所述支撑机构上部固定连接有放置机构。本实用新型所述的一种半导体腐蚀机用定位装置，通过缓冲机构和支撑机构可以对半导体一在下压过程中遭受的下压力进行缓冲的作用，同时通过放置机构和固定机构可以对放置板进行锁定，并且在导向机构的作用下可以对定位机构的升降进行稳定导向的作用，提高了装置的实用性与普适性。
专利主权项内容
1.一种半导体腐蚀机用定位装置，包括下垫板(1)，其特征在于：所述下垫板(1)外表面左端和右端对称固定连接有固定套一(2)，两个所述固定套一(2)内腔均固定连接有支撑柱一(3)，两个所述支撑柱一(3)外表面中部共同固定连接有固定机构(12)，两个所述支撑柱一(3)外表面上端共同固定连接有支撑板一(11)，所述支撑板一(11)外表面上端中部固定连接有液压缸(8)，所述液压缸(8)活塞杆输出端固定连接有定位机构(9)，所述支撑板一(11)外表面下端左部和右部对称固定连接有导向机构(10)，所述下垫板(1)外表面上端固定连接有固定仓(4)，所述固定仓(4)内腔底壁前部和后部对称固定连接有缓冲机构(5)，两个所述缓冲机构(5)上部共同固定连接有支撑机构(6)，所述支撑机构(6)上部固定连接有放置机构(7)，所述放置机构(7)外表面与所述固定机构(12)内部活动连接。 搜索