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微波、射频器件专用的键合机夹具

申请号: CN202323569391.2
申请人: 河北博威集成电路有限公司
申请日期: 2023/12/26

专利详细信息

项目 内容
专利名称 微波、射频器件专用的键合机夹具
专利类型 实用新型
申请号 CN202323569391.2
申请日 2023/12/26
公告号 CN222106659U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 H01L21/68
权利人 河北博威集成电路有限公司
发明人 张宁; 郄旭科; 要旭; 段磊; 郭跃伟; 崔健
地址 河北省石家庄市鹿泉区开发区昌盛大街21号

摘要文本

本实用新型提供了一种微波、射频器件专用的键合机夹具,属于微型芯片组装技术领域,包括加热块、引线框架和压板;加热块位于键合机台的焊接区,加热块的上端开设有多个负压孔;引线框架滑动设于焊接区,并位于加热块的上方;引线框架内开设有多组真空孔;每组中多个真空孔与多个负压孔一一对应;真空孔的外周设有向上凸出的围挡;压板上开设有多组用于容许键合机的键合劈刀贯穿的键合开窗。本实用新型提供的微波、射频器件专用的键合机夹具,实现了对放置在引线框架上的产品的双重定位,减少产品在键合的过程中发生晃动和位移;此外,压板在对产品限位的同时还限制了键合劈刀的键合位置,提高了键合机的键合精准度,提高了产品良率。

专利主权项内容

1.微波、射频器件专用的键合机夹具,其特征在于,包括:
加热块(8),位于键合机台的焊接区,所述加热块(8)具有纵向的自由度,所述加热块(8)的上端开设有多个负压孔;
引线框架(4),滑动设于所述焊接区并位于所述加热块(8)的上方;所述引线框架(4)内开设有多组沿所述引线框架(4)的长度方向依次排布的真空孔(5);每组中多个所述真空孔(5)与多个所述负压孔一一对应;所述真空孔(5)的外周设有向上凸出的围挡,所述围挡用于限位所述真空孔(5)上方的产品(13);
压板(1),搭接在所述引线框架(4)的上方并用于将产品(13)压接在所述引线框架(4)上;所述压板(1)上开设有多组用于容许键合机的键合劈刀贯穿的键合开窗(2),每组中多个所述键合开窗(2)与每组中多个所述真空孔(5)一一对应。