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一种运料设备及硅片生产线
申请人信息
- 申请人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
- 申请人地址:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号
- 发明人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种运料设备及硅片生产线 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202322840653.8 |
| 申请日 | 2023/10/23 |
| 公告号 | CN222106736U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 汪滢; 董雪迪; 张武 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号 |
摘要文本
本实用新型属于生产线加工输送技术领域，具体公开了一种运料设备，其框架内设有进料工位、移载装置和输送装置，进料工位可用于放置硅片载具。输送装置包括输送线，输送线的上料端延伸至进料工位，输送线的下料端承接加工设备，以便于将硅片载具移进或移出加工设备。移载装置用于在运输车和输送线之间搬运硅片载具，从而运料设备能够直接承接运输车上的硅片载具，并能够实现硅片载具在运料设备与加工设备之间流转，无需将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换，减小了硅片的碎片风险，制造良率较高。本实用新型还提供一种硅片生产线，包括该运料设备。
专利主权项内容
1.一种运料设备，用于对接加工设备并进行硅片载具(20)的上料和/或下料，其特征在于，所述运料设备包括：
框架(100)，所述框架(100)设有入料口(101)和出料口(102)；
进料工位(103)，用于放置所述硅片载具(20)，所述硅片载具(20)通过所述入料口(101)进入所述框架(100)内；
输送装置(300)，包括至少一条输送线(310)，所述输送线(310)设于所述框架(100)内，所述输送线(310)的上料端延伸至所述进料工位(103)，所述输送线(310)的下料端延伸至所述出料口(102)，所述输送线(310)的下料端对接所述加工设备，以将所述硅片载具(20)移进或移出所述加工设备；
移载装置(200)，设于所述框架(100)内，用于在所述进料工位(103)和所述输送线(310)之间搬运所述硅片载具(20)。 更多数据：搜索