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载具舟底座组件及立式炉
申请人信息
- 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司
- 申请人地址:213133 江苏省常州市新北区黄河西路790号
- 发明人: 常州捷佳创精密机械有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 载具舟底座组件及立式炉 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420774296.1 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222106749U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 发明人 | 谭惊电; 邓金生; 罗宾; 李操政 |
| 地址 | 江苏省常州市新北区黄河西路790号 |
摘要文本
本实用新型提供了一种载具舟底座组件及立式炉，其中载具舟底座组件包括旋转底座以及多对承载件，旋转底座具有多个供载具舟穿设的承载位，每一对承载件位于一个承载位的两侧，并可折叠地设置在旋转底座上，每一对承载件处于折叠状态以用于避让承载位以使载具舟穿设承载位，每一对承载件处于展开状态以用于承载载具舟；本实用新型提供的载具舟底座组件，通过控制多对承载件在折叠状态与展开状态之间进行切换，实现载具舟的取放，同时，旋转底座在转动时能够带动载具舟一同旋转，从而提升载具舟上硅片的受热均匀性。
专利主权项内容
1.一种载具舟底座组件，其特征在于，包括：
旋转底座，所述旋转底座具有多个供载具舟穿设的承载位；
多对承载件，每一对承载件位于一个承载位的两侧，并可折叠地设置在旋转底座上；
所述每一对承载件处于折叠状态，用于避让所述承载位以使所述载具舟穿设所述承载位，所述每一对承载件处于展开状态，用于承载所述载具舟。