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一种用于MEMS谐振器的引线框架及MEMS谐振器
申请人信息
- 申请人:麦斯塔微电子(深圳)有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园1栋401
- 发明人: 麦斯塔微电子(深圳)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于MEMS谐振器的引线框架及MEMS谐振器 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420784848.7 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222107914U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H03H9/02 |
| 权利人 | 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 |
| 发明人 | 朱怀远; 周莎莉; 舒赟翌 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园1栋401 |
摘要文本
本申请公开了一种用于MEMS谐振器的引线框架及MEMS谐振器，引线框架，包括用于支撑IC裸片的多个引脚，多个引脚沿IC裸片的周边设置；引脚的顶面包括靠近IC裸片的第一部分，以及远离IC裸片的第二部分，第一部分低于第二部分以使两者之间形成第一台阶；第一部分用于支撑IC裸片。本申请的引线框架顶面形成有凹槽，其中，所有引脚顶面的第一部分共同构成该凹槽的底面，第一台阶构成该凹槽的侧壁，封装时IC裸片支撑于所有引脚顶面的第一部分，即IC裸片设置于上述凹槽中，通过在引线框架的顶面设置凹槽，该凹槽可以改变封装时的应力分布，释放影响MEMS谐振器频率的应力，从而减小了MEMS谐振器的频偏。
专利主权项内容
1.一种用于MEMS谐振器的引线框架，其特征在于，包括用于支撑IC裸片的多个引脚，所述多个引脚沿所述IC裸片的周边设置；
所述引脚的顶面包括靠近所述IC裸片的第一部分，以及远离所述IC裸片的第二部分，所述第一部分低于所述第二部分以使两者之间形成第一台阶；
所述第一部分用于支撑所述IC裸片。 关注